1968年台階儀Dektak Ⅰ麵世以來，迄（qì）今已（yǐ）有50多年的發展曆程。通過整（zhěng）合技術，突破創新，Dektak係列台階（jiē）儀已經來到了第（dì）十代，目前我們主要有兩（liǎng）種型號:桌麵式DektakXT（圖1），樣品兼容（róng）可到8寸；另外一款是集（jí）成了防震台一體化的落地式DektakXTL，它的兼容（róng）樣品可以（yǐ）達到12寸（圖2）。布魯克第十（shí）代Dektak 產品在過去五十年不斷的技（jì）術創新，得（dé）到眾多（duō）使用客戶的（de）認（rèn）可。

                  圖1                                                                                         圖（tú）2

台（tái）階高度重現性低於 4 Å

       Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針（zhēn）輪廓儀， single-arch 設計及智能電子器件，大大改善了設備穩定性，進一步提（tí）高防震性能。Dektak XT在測量台階高度重複性方麵具（jù）有優異的表現，台階高度重複性可低於（yú）4Å。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固，降（jiàng）低了對不利環（huán）境條件（jiàn）的敏感性，如（rú）聲音和震動噪音。

方便的更換探針（zhēn）技術讓一切變得輕鬆

        對多用戶儀器而言，能快速輕鬆（sōng）更換探針以適應不（bú）同應用是（shì）必要（yào）的。Dektak台（tái）階儀的轉接頭和探針通過強磁（cí）吸附進行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單、方（fāng）便、易操（cāo）作（圖3）。DektakXT 新（xīn）的針尖自動校準，消除任何潛藏的針尖（jiān）更換/校準隱患。這一技術讓其他困難並耗時的（de）任務變得輕鬆且快速。為（wéi）盡量滿足使（shǐ）用的要求，Bruker 提供了範圍廣泛的標準和客戶定製探針規格（gé），包括用於（yú）深（shēn）溝渠測量的高徑（jìng）比針尖。

圖3

LVDT:主流的微位移傳感技術廣泛（fàn）應用於航空航天等領域（yù）

      作為探針式（shì）表（biǎo）麵輪廓儀（yí）核心的部件—傳感（gǎn）器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理（lǐ），即Linear Variable Differential Transformer線（xiàn）性可變差動變壓器（圖4），其優勢包括：無摩（mó）擦測量、延（yán）長機械壽命、提（tí）高分辨率、零位可重複性、軸向、堅固耐用、環（huán）境適應性、輸（shū）入/輸出隔（gé）離。

圖4

帶機械臂（bì）的（de）全（quán）自動傳片台階（jiē）儀

       全自動型台階儀（cassette-to-cassette台階儀），將（jiāng）Bruker DektakXTL台階儀係統和機械傳送臂相結合（圖5），實現了全自動上下片，通過圖形（xíng）識別（bié）等功能實現自動準（zhǔn）確定位（樣品定（dìng）位精度在±5微米），自動檢測，數據自（zì）動輸出和上傳（chuán），減（jiǎn）少人工成本和人員誤差，可以實現75mm到300mm晶圓檢測全自動化。為半導體行業在工藝開（kāi）發，質量保證與質量控製應用方麵進（jìn）行了優（yōu）化。

圖5

       台階儀主要用於材料表麵的（de）2D，3D測量，可以測試台階高度，表麵粗（cū）糙度（dù）；同時也適合（hé）材料表麵溝（gōu）槽深（shēn）度的測試；能（néng）夠在（zài）微電子，半導體及化合物半導體，太陽能、超高亮度發光二管（LED）、OLED、ITO、微流控、醫學、材（cái）料科學（xué）等行業實現（xiàn）納米級表（biǎo）麵形貌測量。Dektak台階儀測量薄膜材料可（kě）以達到埃級重現性和1nm-1mm的（de）測量範圍。

圖6

圖7