三（sān）維（wéi）光學輪廓儀/白光幹涉儀

ContourX-1000

       布魯克Bruker ContourX-1000 落地式三維（wéi）光學輪廓儀/白光幹涉儀 （WLI） 可以輕鬆快速地完成高質量（liàng）的三維表麵紋理和粗糙（cāo）度測（cè）量。設備的計（jì）量係統融合了超過三十年的（de）創新研發（fā）和布魯（lǔ）克的專有軟件（jiàn）和技術，具（jù）備更卓越的性能（néng）、更高的效率和（hé）可重複性以及更便捷的（de）測量流程。

       全新的一鍵式尋找表麵(Advanced Find Surface ™)功能（néng）結合（hé）了自動聚焦和自動照明功（gōng）能（néng），無需（xū）每次測量前手動查找樣品表麵，大幅提升了用戶體（tǐ）驗，縮短了測量時間。結合自適（shì）應測量模式 USI和簡潔的（de）引導式 VisionXpress™操作界麵，ContourX-1000 幾乎能夠（gòu）在任何表麵，任何操作人員，甚至（zhì）多用戶（hù）高負荷的生產設備下提供高質量的精確測量。

產品特點：

·        可傾斜/俯仰光學頭、雙光（guāng）源和先進的自動化功能，提供快速（sù）、靈活的生產車（chē）間內測量。

·        自校準激光和（hé）集成的防震台，確保更高的測量準確性和可靠性。

·        提供的測量和分析軟件帶有簡潔且有引導性的（de）程序和模式，更大程度的方便用戶使用。

創新的硬件設計

ContourX-1000 三維（wéi）輪廓（kuò）儀集成有 Bruker 專利的傾斜/俯（fǔ）仰（yǎng）光學頭，特有的雙光源、自動化（huà）的物（wù）鏡轉盤和樣（yàng）品台，以及可選配的晶（jīng）圓卡盤。這些創新（xīn）可為幾乎所有的在研發和生產中的應用提供快速且有效的解決方案，包括有難度的表麵（miàn）和（hé）深溝槽結（jié）構。

ContourX-1000配備了專屬的內部參考激光和防震台以獲取更好的穩定性和與其他工具（jù）的匹配能力。即使在嘈雜的環境中，該係統也能（néng）確保設備能完成精準的測量工作。

強大的自動測（cè）量分析功能

ContourX-1000具有易於操作的功能和先進的自動化生產界麵，允許係統在更（gèng）少的人工幹預（yù）下快速收（shōu）集高質量的檢測結果報告，有效減少由（yóu）於操作人員不同或操作設置不同而導致的數據（jù）采集和分析的結果偏差。

自動功能包括：

·         自動測量和分析方案

·         自動對焦和自動（dòng）照明功能，一鍵式搜索表麵

·         自適應（yīng）USI測量模式，自動確定合適的測量參數（shù）

·         提供引導的VisionXpress界麵

·         自動模式（shì）對齊

·         自動強度調（diào）整，自動保存，自動拚接等

Vision64  - 儀器控製和分析軟件

ContourX-1000 由 Vision64® 軟（ruǎn）件提（tí）供（gòng）支持，該軟件是業界內的一款功能強（qiáng）大、用戶（hù）友好的圖（tú）形用戶界（jiè）麵（miàn）。這款功能齊全的軟件包括：

查（chá）找圖麵：查找表麵（miàn）功能使任（rèn）何用戶（hù）都能獲得高（gāo）質量的結果，無論操作員（yuán）的經（jīng）驗水（shuǐ）平如何，即使在多用戶環境中也是如此（cǐ）。它不僅可以實現自（zì）動對焦，還可（kě）以調整關鍵照明參數，如 LED 環（huán）形燈的（de）強度。這允許設備（bèi）能夠在各種材料表麵上進行完整的計量，改善用戶體驗，易於操作，並縮短（duǎn）獲得結（jié）果的時間。

VisionXpress：VisionXpress™ 的界麵使用簡單，適用（yòng）於多用戶環境的標（biāo）準測試庫，在功能齊全的Vision64 界麵（miàn）（用於設置和自動分析）以及用於自動化（更少的（de）人工幹預）的（de）生產界麵之間，您（nín）可以自由（yóu）的選擇更（gèng）適合（hé）需求（qiú）的（de）解（jiě）決方案。

通用掃描幹涉測量：USI模式的自適應表麵智（zhì）能可自動調整算法參數，在同一視場內的不同表麵紋理（lǐ）上獲得更優（yōu）的結果（guǒ），即使（shǐ）在對比度、強度和高度不同的表麵（miàn）上也（yě）是如此。這種自動檢測表麵類型並提供精確計量的能力使其成為簡單且可靠的測量方法之一，適用於幾乎任何表麵，從透明到不透明，垂直範（fàn）圍高達 120 μm。

應用案例

       ContourX-1000 將先（xiān）進的硬件和軟件集成結合在一起，能夠對各種（zhǒng）應用和行業（包括（kuò）關鍵尺寸計量等）的各種表麵進行高精度、量具能力的定（dìng）量 3D 表麵表征。

1、改進如元件等的製造工藝

通過測量表（biǎo）麵（miàn）粗糙度參數，準確（què）評估和衡量一些零部件（jiàn）的複雜表麵紋理，幫助改進表麵光潔度工藝。

2、新型材（cái）料的研究和大規模製造

為新型材料（liào）的研究和大規模製（zhì）造提（tí）供快速、準確（què）的平均表（biǎo）麵粗（cū）糙（cāo）度評估

3、半導體表麵表征

用於半導體材料和器件納米級表麵（miàn）表（biǎo）征的（de）高性能測（cè）量解決方案

4、更多應用

·    高縱橫比（bǐ）MEMS器件結構

·    工業高分子薄膜

·    高密度凸起互連

·    拚接測量得到的雙焦隱形（xíng）眼（yǎn）鏡形貌