Delta-X  多功能X射（shè）線衍射儀/反射儀

能滿足科學（xué）研究所和技術開發中心不同材料體係的全方位測試（shì）需求（qiú）。

產品簡介

       Jordan Valley公司設計的這款Delta-X多功能X射線衍射設備，可靈（líng）活應用於材料科學研究、工藝開發、與生（shēng）產質量控製等環境。Delta-X衍射儀可以在常規衍射模式、高分（fèn）辨率衍射模式、X射線反射模式（shì）之間靈活切換，衍射儀的光源台和探測台的光學元件（jiàn）可以全自動化調控，並（bìng）采用了水平式樣品台。

       光學配置的切換（huàn）完全在菜單式程序控（kòng）製下由計算機完成，無（wú）需手動操作。自動化切換和準直（zhí）不需要專門人員和操作設備，並確保每次切換都能達到合適的光學準直狀態 。

       常規的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀實現部分、乃至完全的自動化運行。自動化測量程序可以依客戶需求進（jìn）行專門定製。也可采用完全的手動模式（shì）來操作衍射儀，以便發展新的測量方法，研（yán）究新材（cái）料體係（xì）。

       數據分析（xī）或擬合可以作為（wéi）測量程序的一部分，能（néng）夠實（shí）現完全自（zì）動化，也可根（gēn）據（jù）需求來（lái）單獨進行數據分析。 如以半導（dǎo）體生產線為例，根據生產線的需求，可以將RADS和REFS擬合軟件以自動化（huà）模式運行（háng），能夠允許設備在（zài）沒有用戶（hù）幹擾的情況下自動（dòng）完成常規性的（de）數據分析，並直接完成數據擬合和結（jié）果輸出。RADS和REFS也可以單獨安裝，以便進行更詳細的數（shù）據分析。

產品特點

·  自動化進行（háng）樣品準直、測試、和數據分析

·  客戶可以自行設定測量的自動化程度（dù）

·  300 mm的歐拉環支架 (Eulerian Cradle) 設（shè）計，高精度的（de）樣品定位和掃描

·  300 mm的晶片水平式（shì）放置，且可以完整映射

·  100° 的Chi 軸傾轉範圍、無限製範圍的 Ph i 軸旋轉空間， 可（kě）實現極圖和殘餘應（yīng）力測（cè）試

·  智（zhì）能化的光學配置切換和準直。依測量需要，自動選（xuǎn）擇光學配置並實（shí）施光學（xué）準直

·  強大的（de）工業級設備控製軟件和（hé）數據分（fèn）析軟件

·  高分辨率測角儀，以保證精密且準確的測量

·   高強度的光源台設計和光學元件（jiàn）組合，實現快速測量

·  多方麵廣泛（fàn）的測試技術和測（cè）量參數

·  由擁有（yǒu）超過30年的高分辨率X射線（xiàn）衍（yǎn）射經驗的專家（jiā）設（shè）計（jì）、製造，具有全球客戶經驗。

產品優勢

1、 自（zì）動化控製（zhì）的光（guāng）學係統

Delta - X衍射儀的入射束（shù）包（bāo）括多種標準的光學配置模式，使光學配置具有充分的靈活性，且易於操作。可以依據測量樣品的材（cái）料類型，選擇參考晶體。

2、樣品台

Delta - X衍射儀的（de）歐拉（Eulerian）環支架設計允許放置單（dān）個或多個晶片或樣品，並提（tí）供多個轉動軸的（de）大範圍、高再現（xiàn）性（xìng）的（de）精確移動（dòng）控（kòng）製。

      ·  可放置直徑（jìng） 300mm晶片（piàn）或多個小尺寸晶片、樣品

      ·  “邊緣至邊緣“全晶片測量（無（wú）邊緣測量失真現象）

      ·   可（kě）選配特殊環境樣品台，如高溫、真空等。

3、探測台

     ·  閃爍（shuò）式高性能點探（tàn）測器，顯著提（tí）高響應（yīng）特性

      ·  性能卓越的（de）線探測器（選配件）

4、自動化（huà）機械手臂(Robot ) 選配件

      可選配全自動化機（jī）械手臂，實現直徑（jìng）≤300mm晶片的全自動化裝卸和測量。

5、係統（tǒng）控製和數據采集

Delta - X衍（yǎn）射儀可以在不同模式下工作，包括菜單（dān）式全自動化測量、各個軸的手動準直和掃描等。

      ·  利用靈活（huó）、簡便的向導創（chuàng）建測量菜單

      ·  自動產生分析報告，提供實時信息（xī）和警示

6、專業用戶功能

專業用戶可以全麵使用Delta - X衍射儀的更（gèng）多專業功能。控製軟件允許用戶使用從完全自（zì）動操作到（dào）完全手動準（zhǔn）直和測量等（děng）的所有操作模式。

      ·  手（shǒu）動/自動化準直程序設置

      ·  可實（shí）現任何（hé）方向的專業掃描模式

      ·  功能強大的程（chéng）序腳本

應用示例

·  高分辨率X射線衍（yǎn）射和弛豫度(Relaxation)

    材料：單晶（jīng）襯底材料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延層材料，包括多層外延膜結構

    參數：外延層（céng）厚度、組分、弛豫度、晶格應變（biàn）、晶片均勻性、晶（jīng）格失配、摻雜（zá）濃度、襯底斜切角、外延傾（qīng）角。

·  三（sān）軸X射線衍射（shè）和倒易空間Map

    材料：單晶襯底材（cái）料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延層材料，包括多層（céng）外延（yán）膜結構

    參（cān）數：外延層厚度、組（zǔ）分、弛豫度、晶格應變、晶片均勻性、晶格失配（pèi）、摻（chān）雜濃度、襯底斜切角（jiǎo）、外延（yán）傾角。

·  高分（fèn）辨X射線衍射(HRXRD) 數據示例 

    -  GaN基多量子阱結構

    -  矽襯底上生長（zhǎng）III - V族材料（liào）

·  X射線反（fǎn）射(XRR )

    材料（liào）類型：薄膜

    參（cān）數：薄膜厚度（dù）、密度、粗糙度

    掃描方式：Omega - 2Theta掃描，Omega掃描，2Theta掃描

·  X射線衍（yǎn）射(XRD) 

    材料：測量多（duō）晶材料、納米材料（liào）、多晶薄膜等。對於超薄層材料、納米級厚度的薄膜材（cái）料（liào），可以使用掠入射衍射（shè）。

    參數：相結（jié）構、織構、晶粒尺寸、顆粒尺寸、晶胞分（fèn）析、結晶度（dù）分析、殘餘應力測定。

·  多晶薄膜的X射線衍射(XRD)

    材料：測量多晶（jīng）材料、納米材料（liào）、多晶（jīng）薄膜等。對於超薄層（céng）材料、納米級厚度的薄膜材料（liào），可以使（shǐ）用掠入射衍射。

    參（cān）數：相結構、晶格常數（shù）、晶粒尺寸

·  多晶薄膜的（de）掠入射X射線衍射(GI - XRD)

    材料：測量多晶材（cái）料、納米材料、多晶薄膜等。對於超薄層材料、納米級厚度的薄膜材料，可以使用（yòng）掠入（rù）射衍射（shè）。

    參數：相結構、織構、結晶度

    掃描模式（shì）： 2Theta掃描(GI - XRD)

·  多晶薄（báo）膜的極圖：織構測定

    材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等。

    參數：織（zhī）構

    掃描方式： Chi軸和Phi軸的聯合掃描

·  薄膜的殘餘應力測定

    材料：測量多晶材料、納米材料、多晶薄膜等（děng）。

    參（cān）數：殘餘應力

    掃描方式（shì）： 2Theta軸和Chi軸聯合掃描

·  X射線衍射（shè）應用示例

    -  超薄High - K材料

    -  薄膜的殘餘應力測定

分析軟件

Jordan Valley分析軟件包已經擁有超過30年的（de）使用經驗，並廣泛應用（yòng）於薄膜材料結構特征的X射線表征。以原英國Bede Scientific公司的（de）分（fèn）析軟件包為基礎，Jordan Valley分析軟件在研究領域和工業生產領域都具有廣泛的適用性和優異性，並囊括了高分辨率X射線衍射（HRXRD ) 和X射線反（fǎn）射(XRR ) 自動化擬合軟件、通用分析軟件、映射（shè）圖繪製和分析（xī）軟件等（děng）。

-  JV RADS：在工業生產領域是飽（bǎo）受（shòu）好評與信任的軟件，廣泛用於（yú）單晶襯底上生長各種外延薄膜的HRXRD 數據分析。

-  MDI JADE：擁有強大（dà）的（de）XRD數據分析功能，包括衍射圖譜的閱讀、處理、分析，能夠準確進行相鑒定分析。

-  JV REFS：用於分析X射線反射數（shù）據的軟件，軟件操作簡便、功能強大，廣泛應用在研發和生產領域。

-  JV Contour：可繪製和展示2D或3D映射圖

-  JV PeakSplit：提供了直接分析（xī）HRXRD和XRD數（shù）據的多種功能，對HRXRD或XRD測（cè）量數據做圖形化展（zhǎn）示，並可擬合峰形特征（zhēng）。

更多數據實例或詳細（xì）參數，歡迎與我司聯係索（suǒ）取。