薄膜應力和矽片翹曲檢測儀-800av凹凸视频在线观看儀器（上海）有限公司

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薄膜應力和矽片（piàn）翹曲檢測儀

更新時間：2020-12-14

產品品牌：Frontier Semiconductor

產品型（xíng）號：薄膜應力和矽片翹曲檢測儀

產品描述：光（guāng）學設計減少圖形襯（chèn）底對（duì）激光的幹涉。

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基於Optilever激光掃描技術。

使用應力控製，避（bì）免（miǎn）薄（báo）膜分層（céng），形成凹凸狀。
光學設計減少圖形（xíng）襯底對激光的幹涉。在TSV, 半導體以及LED工藝上控製基底彎（wān）度。
在平板顯示行（háng）業，控製玻璃（lí）的平整度
LED行業中, 可分析（xī）藍寶石或碳化矽裸片的BOW/ WARP, 以及LED製程中不同薄膜造成的應力
在20米曲率的標準片上，重複性少於0.01公差。
雙波長激光設計, 如某一波長激光在樣本反射度不足，係統（tǒng）會自動使用另一（yī）波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用
全自（zì）動平（píng）台，可以進行2D及3D掃瞄
相同產（chǎn）品中提供數據點：每英寸可測1000點，平均每晶圓（yuán）超（chāo）過32線。
提供3D應力分布圖。
擁（yōng）有三維應力分布圖和大量的數據點使用戶能夠檢（jiǎn）測（cè）局部的應力變化。
500 及 900°C高溫或-50°C低溫型號可選
熱解析（xī）光譜分析可選。
樣（yàng）品台可通用於2至8寸基底, 另備有（yǒu）可容納450mm直徑或370 X 470mm樣本的型號
多種型號以供選擇:
手動上下片)
自動（dòng）上下片(Cassette to cassette, C2C)
可添加並整合於多腔式集束型架構設備(cluster tool)