連續式（shì）四探針（zhēn）片電阻及（jí）光學膜厚測量設備-鉑（bó）悅儀器（上海）有限公司

產品中（zhōng）心

元素分析
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直讀光譜儀手持/便攜式X射線熒光光譜（pǔ）儀科研（yán）級手持/便攜式X射線熒光光譜儀波長色散型X射線熒光光譜（pǔ）儀 WDXRF 在線式X射線熒光光（guāng）譜分（fèn）析儀微區X射線（xiàn）熒光光譜儀 X射線衍射儀（yí） XRD 全反射X射線熒光光譜儀（yí）三維 X 射（shè）線顯微鏡岩心掃描XRF分析儀鑽井信息采集管理
表麵分析
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探針式（shì）輪（lún）廓儀（yí）/台階儀光學輪廓儀納米力學測試係統摩擦磨損儀原子（zǐ）力（lì）顯微鏡
太陽能/半（bàn）導體
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薄膜應力測（cè）量儀矽片表麵形貌/晶圓測（cè）量漆膜附著力測試電學（xué）特征（zhēng）
通用儀器耗材及檢測服務
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原子力顯微鏡探針檢測服（fú）務電荷靈敏前置放（fàng）大器 CUBE PV/I-V測試濾芯（xīn）/濾袋

連續式四探（tàn）針片電阻及光學（xué）膜厚測量設備

更新時間（jiān）：2023-03-28

產品品牌：Frontier Semiconductor

產品（pǐn）型號：

產品（pǐn）描述：連續式四探針（zhēn）片電阻及光學膜厚測量設備設計, 片電阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇

在線留（liú）言

連續式四探針片電阻及（jí）光學（xué）膜厚測量設備設計, 片電（diàn）阻不受針尖距離影響多種型號以供選擇:
自動上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測量(更高可選)
可添加並整合於多腔式的集束型架構設備(cluster tool)

亦可在連續式設備內加入四探針片電阻（zǔ）及光學膜厚測量, 適合薄（báo）膜太陽能(銅銦镓硒, CIGS)及平板顯示行業

基材尺（chǐ）寸:
450mm晶圓 (樣品台旋轉)
370 x 470mm 長方形（xíng）基底 (XY樣品台)
連續式設備可以度身訂做, 沒有尺寸限製
片電（diàn）阻測量適合金屬薄膜（mó）、銅銦镓硒、非晶矽(矽)、碲化鎘、鉬、透明導（dǎo）電（diàn）薄膜(AlZnO2)、摻雜之後的（de）矽(矽)、矽鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位（wèi）麵積奧姆值 (更高可選（xuǎn）)

可整合於連（lián）續式(INLINE)的生產線（xiàn）內, 而收集的測量數據可自動送到SCADA係統
光學（xué）膜厚測量功能可選
測量光斑<1mm
波（bō）長: 380-1050nm
可測量膜厚: 15-50nm, 多可達250nm
短時間重複性: ~0.1nm
長時間（jiān）重複性:: ~0.1nm