更新時間：2020-12-14
產品（pǐn）品牌：Frontier Semiconductor
產品（pǐn）型號：FSM 128
薄膜應力及基底（dǐ）翹曲測試（shì）設備簡介
FSM率先推出基於商業化應用的（de）激光掃（sǎo）描光學杠杆（Optilever）技術，主要應用於薄膜應力和晶圓彎（wān）曲測量。該設備頻繁（fán）使用在分析解決諸如薄（báo）膜（mó）裂紋，分層，突起和空隙是如何形成（chéng）的問題。FSM128係列設備，適合在半（bàn）導體（tǐ），三-五族，太陽（yáng）能，微機電，數據（jù）存儲和液晶麵（miàn）板行業（yè）的（de）下一代器件的研發和（hé）生產中使用。
快（kuài）速&非接觸激光（guāng）掃（sǎo）描
3-D 視圖 &輪廓圖
可在室溫&高溫環境下測量
適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺（chǐ）寸測量需求可定製)
可使用機械手臂搬送晶圓
主要設計特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓，而無需更換晶圓樣品載片台。FSM 128係列其（qí）它型號主要針對其（qí）它尺寸樣品設計。(例如（rú）：FSM128L可以測量大到（dào）300mm尺寸的（de）晶圓樣品，而FSM 128G則專門設計（jì）來測（cè）量尺寸大（dà）到650 x 550mm的（de）麵板樣品)
· 樣品容易放置（zhì）和回收（shōu）
設（shè）計的可自動伸縮開關門機構，方便從（cóng）樣品載片台上放置和回收晶圓樣品，使多片晶圓測量變得輕而易舉。
· 自動切換雙波段激（jī）光
FSM128係列具有的自動激光切換掃描技術（shù）.當（dāng）樣品反射率（lǜ）不好時，係統會自動切換到不同波長的另外一隻激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，High K,金屬等（děng）幾乎所（suǒ）
有的薄膜而不會（huì）遇到無法測量的問題。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達驅動的可旋轉載片（piàn）台，可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶（hù）可以看到整片晶圓的曲率和應力變化分布，並（bìng）準確反（fǎn）映出（chū）工藝和均勻性有問題的區域。
· 薄膜厚（hòu）度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能，使設（shè）備變成一台可以在研發（fā）和生產環境下靈活使用強大的桌麵型設（shè）備。
測量結果圖表和Map可以很容易以Excel或者Word文檔輸出生成報（bào）告
主要（yào）應用於半（bàn）導體, LED,太（tài）陽能,數據存儲 & 液晶麵板產業
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